集成电路离子注入机获新订单 万业企业上半年集成电路设备收入同比增223%

　　8月27日晚间，万业企业(600641)披露2021年半年报。报告期内，公司实现营业收入6.09亿元，同比增长28.25%，其中集成电路设备收入同比增长223%，研发费用同比增长575.23%；实现归属于上市公司股东的净利润2.79亿元，同比增长55.18%；扣非归母净利润1.97亿元，同比增长23.30%。

　　资料显示，万业企业自2015年开始布局转型，目前公司聚焦半导体装备与材料产业布局成效显著。万业企业集成电路核心装备业务涵盖两方面，一是旗下控股子公司凯世通的集成电路核心设备离子注入机，产品覆盖集成电路、光伏市场、AMOLED等领域；二是牵头收购的半导体设备领域精密零部件供应商Compart Systems，主要产品包括BTP组件、装配件、密封件、气棒总成、气体流量控制器(MFC)、焊接件等。

　　报告期内，万业企业旗下凯世通在离子注入机设备验证、产品交付、销售收入以及新订单签署等工作均取得进展。凯世通自主研发的低能大束流离子注入机率先在国内一家12英寸主流集成电路芯片制造厂已完成设备验证工作并确认销售收入，这也是首台完成国内主流客户验证并确认收入的国产低能大束流设备，标志国产化设备在成熟工艺这一重大技术领域取得商用化突破。同时，凯世通重金属离子注入机和超低温大束流离子注入机已完成客户交付，高能离子注入机设备按客户交付计划进行组装。

　　此外，中报期内公司又新增2台订单，与国内另一家12英寸芯片制造厂分别签署1台低能大束流超低温离子注入机和1台高能离子注入机订单。

　　2020年12月，公司牵头境内外投资人完成对全球领先的集成电路设备精密零组件及流量控制解决方案供应商Compart Systems收购，间接成为其第一大股东。作为全球稀有的可完成半导体零组件精密加工所有环节的公司，Compart Systems客户主要为知名的半导体设备商和领先的工业企业集团等。

　　VLSI资料显示，半导体设备制造中最关键的零部件大致分为5个类别，包括真空泵，RF电源，硅片传送，气体与液体控制(Massflower，质量流量计等)及其它。一台集成电路设备中需要3000-4000余个零部件，除了个别自行设计的零部件，其余90%均采用外协定制加工，目前零部件领域国产化率仅为10%-30%，尤其是Compart Systems所覆盖的气体控制系统国产化率为零，因此万业企业收购Compart Systems可有效解决设备零部件长期依赖海外供应链的困境。

　　近两年，万业企业成功转型为集成电路装备领域的平台型公司，无论是在集成电路设备商业化突破，或是外延式并购均有良好布局，为公司集成电路业务多元化发展奠定了坚实的基础。

（文章来源：证券日报网）